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低真空化學氣相沉積設備

  • 產品型號:
  • 更新時間:2025-05-27

簡要描述:簡要描述:低真空化學氣相沉積設備是一種化學氣相沉積技術,利用熱能在基板表面上引發前驅氣體的反應。表面的反應是形成固化材料的原因。

產品詳情

低真空化學氣相沉積設備是一種化學氣相沉積技術,利用熱能在基板表面上引發前驅氣體的反應。表面的反應是形成固化材料的原因。低真空用於減少氣相反應,還可以提高整個基板的均勻性。除此之外,該過程取決於溫度控制,過程溫度越高,維持性越好。與大氣壓下的傳統CVD製程相比,低真空化學氣相沉積設備:每批製程可裝載更多的晶圓(每批100-200個晶圓)、晶圓內的厚度均勻性得到了改善(<±3%),並且降低生產成本。SYSKEY的系統可以精準的控制製程氣體與監控其數據(壓力、載臺溫度),並提供高品質的薄膜。

 

 

參數

應用領域

腔體

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碳納米管和石墨烯的製程。

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· 

SiOxSiNx、a-Si、DLC和其他薄膜

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製程。

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熱退火。

· 

· 

擴散製程。

· 

· 

氧化製程。

· 

· 

加熱爐配置:水平或垂直,結合

· 

傳送機構。

· 

 

 

配置和優點

選件

· 

客製化的基板尺寸,直徑可達8

· 

晶圓。

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單載片或多載片。

· 

· 

優異的薄膜均勻度小於±5%。

· 

· 

精準流量控制器,氣體分佈高度均勻,最多可容納10條氣體管線。

· 

· 

穩定的溫度控制,可將載盤加熱至1700°C。

· 

· 

可以與傳送腔(單載臺或多載臺)

· 

合在一起。

· 

 

 

 

 

 


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