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  • 等離子沉積設備
    等離子沉積設備

    簡要描述：等離子沉積設備低刻蝕速率，高擊穿電壓，低應力、不損傷襯底以及在低于100#176;C的沉積溫度下的低界面態密度，使得所沉積的薄膜具有優異的性能。

    更新時間：2025-10-20
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