從實驗室的技術原型到工廠的穩定產線,
三和聯國儀量子國產半導體工業設備歷經“研發攻堅-中試驗證-產線適配”三重跨越,打破了“實驗室能做、產線用不了”的行業困境,成為推動半導體產業國產化的關鍵力量。其落地路徑,為設備從技術創新到產業應用提供了可借鑒的范本。
一、實驗室研發:攻克核心技術,奠定產業化基礎
實驗室階段的核心是突破“卡脖子”技術,為設備產業化筑牢根基。依托與中國科學技術大學的產學研合作,三和聯國儀量子聚焦半導體檢測設備的核心痛點——如傳統設備精度不足、操作復雜等,組建量子精密測量研發團隊,歷時3年攻克量子傳感器微型化、信號降噪等關鍵技術。
在實驗室環境中,團隊搭建原型機測試平臺,通過上萬次實驗優化設備參數:針對半導體材料中自由基檢測需求,研發出高靈敏度量子傳感芯片,將檢測精度提升至一定水平;開發智能化數據處理算法,解決傳統設備譜圖分析耗時的問題,將分析效率提高3倍。
二、中試驗證:模擬產線工況,解決“落地適配”難題
實驗室技術走向產線的關鍵,在于通過中試驗證解決實際工況下的適配問題。三和聯國儀量子聯合國內半導體企業,搭建模擬產線中試基地,復現工廠高溫、高粉塵、多干擾的復雜環境,對設備進行“極限測試”與迭代優化。
中試階段重點解決三大問題:一是設備穩定性,通過連續1000小時不間斷運行測試,發現并改進原型機中易磨損的傳動部件,將設備沒有問題運行時間從500小時提升至2000小時;二是環境適應性,為設備加裝防塵、防震外殼,優化散熱系統,確保在35℃高溫、粉塵濃度0.5mg/m³的產線環境中穩定工作;三是操作便捷性,根據產線工人反饋,簡化設備操作界面,增加故障自動報警功能,降低產線人員培訓成本。
三、產線落地:定制化服務+全周期保障,實現規模化應用
產線落地階段,需通過定制化服務與全周期保障,推動設備規模化應用。針對不同半導體企業的產線差異,三和聯國儀量子提供“一廠一策”定制方案:為芯片制造企業優化設備的樣品處理模塊,適配不同尺寸晶圓的檢測需求;為封裝測試廠開發多通道檢測功能,提升批量檢測效率。
同時,建立“售前培訓+售中調試+售后維護”全周期服務體系:產線安裝前,為企業技術人員提供設備操作與維護培訓;安裝時,派工程師駐場調試,確保設備與產線其他系統無縫銜接;售后階段,提供7×24小時技術支持,通過遠程診斷快速解決設備故障,將維修響應時間縮短至2小時內。
從實驗室的技術突破到產線的穩定運行,三和聯國儀量子的實踐證明,高上設備的產業化不僅需要核心技術創新,更需精準對接產業需求,通過中試驗證與定制化服務,打通“技術-產品-產業”的落地鏈路,為半導體產業國產化注入強勁動力。
